特許
J-GLOBAL ID：200903025174007797

ポジ型感光性組成物

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-188499
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005376
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像力に優れ、疎密依存性が小さいポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A1)活性光線又は放射線の照射によりスルホン酸のα位がフッ素原子で置換されたアルカンスルホン酸を発生する化合物、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩、及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解速度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A1)活性光線又は放射線の照射によりスルホン酸のα位がフッ素原子で置換されたアルカンスルホン酸を発生する化合物、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩、及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解速度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (14件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
引用特許：
審査官引用 (6件)
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