特許

J-GLOBAL ID：200903052312416110

赤外顕微測定方法及び装置

発明者： 田中 豊彦
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-432096
公開番号（公開出願番号）：特開2005-189142
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

【課題】透過/反射切替え式の赤外顕微鏡において低廉なコストで簡便に高感度反射測定を行えるようにする。 【解決手段】高感度反射測定時には、集光鏡20と反射対物鏡21とを結ぶ中心軸Cに対し試料23が略直交して延在する位置から所定角度を以て斜交する位置まで回動自在であるような試料ホルダアタッチメント30を試料ステージ22に取り付ける。まず試料23を水平状態にして可視像を確認し、その状態で試料23上の所望の測定対象部位が集光鏡20の焦点に来るように試料ステージ22を調整し、その後にツマミを回して試料23を所定角度だけ傾ける。集光鏡20を出た光の中で高感度反射の入射角条件を満たす光のみが試料23の測定対象部位に当たり、その反射光が反射対物鏡21に入る。したがって、従来の光学系のままアタッチメント30の取付けのみで高感度反射測定が可能となる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

試料を装着する試料ステージを挟んで対向する位置に配置された集光光学系と反射対物光学系とを具備し、該集光光学系と反射対物光学系とを結ぶ中心軸(光軸)に対し試料を略直交する方向に延在するように設置して、集光光学系を通して試料の一方の面に赤外測定光を照射し反対面から出た透過光を反射対物光学系を通して検出器へと導く透過測定と、反射対物光学系を通して試料の一方の面に赤外測定光を照射しその同一面から出た反射光を反射対物光学系を通して検出器へと導く反射測定とを選択的に行う赤外顕微鏡を利用した赤外顕微測定方法であって、 前記中心軸に対して試料が斜交して延在するように設置することにより、集光光学系から出射した赤外測定光を該試料の一方の面に高感度反射の条件を満たす入射角で以て照射し、その同一面から出た反射光を反射対物光学系に入射させることで高感度反射測定を行うことを特徴とする赤外顕微測定方法。

IPC (5件)：

G01N21/27 ,  G01N21/01 ,  G01N21/35 ,  G02B21/00 ,  G02B21/04

FI (5件)：

G01N21/27 E ,  G01N21/01 B ,  G01N21/35 Z ,  G02B21/00 ,  G02B21/04

Fターム (27件)：

2G059AA05 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE10 ,  2G059FF03 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK03 ,  2H052AB06 ,  2H052AB24 ,  2H052AB25 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC09 ,  2H052AC13 ,  2H052AC14 ,  2H052AC27 ,  2H052AC29 ,  2H052AC30 ,  2H052AF07 ,  2H087KA09 ,  2H087LA01 ,  2H087LA24 ,  2H087TA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 赤外顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-356518   出願人：株式会社島津製作所