特許
J-GLOBAL ID:200903052321341212
光導波回路の製造方法及び光導波回路の製造装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 興作
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-083619
公開番号(公開出願番号):特開2003-279776
出願日: 2002年03月25日
公開日(公表日): 2003年10月02日
要約:
【要約】【課題】 広範囲の光導波路素子を光学的に接合しうる新規な光導波回路の製造方法及び光導波回路の製造装置を提供する。【解決手段】 第1の励起位相共役光を位相共役鏡2で生成させる。そして、前記第1の位相共役光と参照光との干渉パターンより画像処理及び演算処理を経て得た干渉パターンに基づき、空間変調器3に入射した光を空間的に変調させた後に反射させ、これによって生成した回折光を第2の励起位相共役光として用いる。前記第1の励起位相共役光及び前記第2の励起位相共役光を、光硬化性樹脂40によって接合された一対の光導波路素子20及び30内を導波するように共振させて、光硬化性樹脂40を部分的に硬化させ、光導波路素子20及び30を光学的に接合する。
請求項(抜粋):
所定の光源から発せられた光から第1の励起位相共役光を生成する工程と、前記第1の励起位相共役光と所定の参照光とを干渉させて干渉光を得、この干渉光の干渉パターンに基づいて回折光を生成し、この回折光を第2の励起位相共役光として用いる工程と、前記第1の励起位相共役光及び前記第2の励起位相共役光を、一対の光導波路素子及び前記一対の光導波路素子間において、これら光導波路素子と接合するようにして設けられた光硬化樹脂を通じて共振させ、得られた位相共役光によって前記光硬化樹脂を硬化させ、前記一対の光導波路素子を光学的に接合する工程と、を含むことを特徴とする、光導波回路の製造方法。
Fターム (5件):
2H047KA03
, 2H047KB09
, 2H047PA22
, 2H047PA28
, 2H047QA05
引用特許:
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