特許
J-GLOBAL ID:200903016478289579

光導波路素子の製造方法及び製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-316217
公開番号(公開出願番号):特開2000-147291
出願日: 1998年11月06日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】 3次元的な光導波路素子や分岐型光導波路素子などを簡易に形成することのできる新たな光導波路素子の製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】 位相共役光Bを発振させるためのトリガーとなるレーザ光Cを出射する第1のレーザ光源29と、1対の位相共役鏡22及び34と、この位相共役鏡に入射したレーザ光を励起させて前記位相共役光を発振させるためのレーザ光A及びDを出射する第2のレーザ光源21及び33と、前記位相共役光を絞り込んで第1の光硬化性樹脂に照射し、光導波路のコア部分を形成するための開口部を有するプレート24及び光ファイバ28と、を具える製造装置のケース26に第1の光硬化性樹脂を充填し、位相共役光Bで硬化させて光導波路のコア部分を形成した後、好ましくは、ケース26に第1の光硬化性樹脂よりも屈折率の低い第2の光硬化性樹脂を充填、硬化させて、光導波路のクラッド部分を形成する。
請求項(抜粋):
1対の位相共役鏡の間に第1の光硬化性樹脂を配置し、前記1対の位相共役鏡の間で発振された位相共役光を前記第1の光硬化性樹脂に照射することによって、前記第1の光硬化性樹脂の前記位相共役光の経路に相当する部分を硬化させて光導波路を構成するコア部分を形成することを特徴とする、光導波路素子の製造方法。
Fターム (9件):
2H047KA04 ,  2H047KA11 ,  2H047KA13 ,  2H047KB03 ,  2H047MA05 ,  2H047PA15 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047TA43
引用特許:
審査官引用 (2件)

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