特許

J-GLOBAL ID：200903052333926500

高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置

発明者： 杉井 正克 ,  斉藤 英明 ,  原 煕 ,  牛田 勝 ,  渡部 正造
出願人/特許権者： 防衛庁技術研究本部長 ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039367
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211210
出願日： 1995年02月03日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 冷媒の圧力による高出力レーザ用反射ミラーの変形を防ぐ。【構成】 金属ミラー1の裏面1bに螺旋状のパイプ5を熱伝導性及び伸縮性の高い充填材6を介して埋設することにより、冷媒Rを金属ミラー1の裏面1bに直接供給せず、パイプ5を介して間接的に金属ミラー1の裏面1bに供給するようにしたので、冷媒Rによる金属ミラー1の腐食を防ぐことができるとともに、冷媒Rの圧力によって金属ミラー1が変形するのを防ぐことができ、金属ミラー1の高い面精度を維持することができる。

請求項（抜粋）：

高出力レーザ用反射ミラーのレーザ光吸熱による温度上昇を抑制する冷却装置において、冷媒を循環させるパイプが、前記高出力レーザ用反射ミラーの裏面に設けられていることを特徴とする高出力レーザ用反射ミラーの冷却装置。

IPC (5件)：

G02B 5/08 ,  F25D 1/02 ,  G02B 7/195 ,  H01S 3/04 ,  H01S 3/08

FI (2件)：

H01S 3/04 Z ,  H01S 3/08 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-243404
  
• 特開平2-248093
  
• 高出力レーザー光用及びシンクロトロン放射光用ミラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-112415   出願人：新日本製鐵株式会社
• 冷却機構付反射鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-309664   出願人：東洋炭素株式会社