特許

J-GLOBAL ID：200903052336304542

投影露光装置

発明者： 石川 弘美 ,  大場 昌宏 ,  高田 倫久 ,  興梠 裕
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-128916
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335692
出願日： 2003年05月07日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】投影露光装置において、空間変調された2次元パターンを感光材料上に投影する際のピント合わせをより容易に、かつより短時間で行なう。【解決手段】感光材料150と像側テレセントリックな第2結像光学系52との間に、第2結像光学系52によって感光材料151上に結像する像のピントを調節するくさび型プリズムペア540を有する空気間隔調節部54を配置する。光源ユニット60から発せられDMD照射光学系70を通して伝播された光をDMD80で空間光変調して光の2次元パターンを形成し、この空間光変調された2次元パターンを光学系50および上記空気間隔調節部54を通して感光材料150上に結像させ、この2次元パターンを感光材料150上に投影し露光する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

光源から発せられた光を空間光変調して2次元パターンを形成する空間光変調手段と、該空間光変調された2次元パターンを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな結像光学系とを備え、前記2次元パターンを前記感光材料上に投影し露光する投影露光装置であって、 前記感光材料と前記結像光学系との間に配置され、該感光材料と結像光学系との間の空気間隔を変更して前記2次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備えていることを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/207

FI (2件)：

H01L21/30 529 ,  G03F7/207 Z

Fターム (11件)：

2H097BA01 ,  2H097CA06 ,  2H097CA17 ,  2H097LA12 ,  5F046BA07 ,  5F046BA10 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA14 ,  5F046DA27

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 画像焼付装置およびこれを備えた写真処理装置、ならびに画像焼付方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-120068   出願人：ノーリツ鋼機株式会社
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-200857   出願人：株式会社ニコン
• 画像表示装置及び画素像縮小方法及び画素像縮小光学構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-289971   出願人：株式会社リコー