特許
J-GLOBAL ID：200903052336447408
フォーカス検出装置
出願人/特許権者：
ミネベア株式会社
ミネベア株式会社 について
代理人 (1件)： 辻 実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029950
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203610
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】入手の容易な非分割型ホトダイオードを用い光ファイバを使うことによって外乱ノイズに強い、小型のフォーカス検出装置を提供すること。【解決手段】レーザ光源からの出射光を入射光とし透過光と反射光に二分岐するビームスプリッタと、反射光を入射光とし平行光に変換するコリメートレンズと、平行光を入射光とし光ディスク上へ結像する対物レンズと、被測定物としての光ディスクから反射して対物レンズ、コリメートレンズ及びビームスプリッタを再び透過する透過光を二分岐する光路分岐回路と、二分岐した光ビームの同一光軸上に配置した光ファイバと、各々の光ファイバからの光強度に比例した電気信号を出力する非分割タイプの光検出器とフォーカス誤差信号を出力する比較器と、光ファイバを保持する保持台とを備え、光ディスクの面振れ変動を伴ったビームスポット形状変化の検出と、光-電気信号変換との機能を二本の光ファイバと非分割タイプの光検出器に個別に行なわせる。
請求項（抜粋）：
位置の検知を行う被測定物表面に表出させた光スポットの反射像の大きさを測定して該被測定部の位置を検知するフォーカス検出装置において、前記被測定物表面に表出させた光スポットの反射像を焦点位置で結像させる光学レンズ系と、前記光学レンズ系の焦点位置よりも被測定物表面側において反射像を取り出す第1の像取出部と、前記光学レンズ系の焦点位置よりも被測定物表面側から見て遠い位置において反射像を取り出す第2の像取出部と、前記第1の像取出部に一方の先端が接近して配置され第1の像取出部から取り出された像を他方端から発する第1の光ファイバと、前記第2の像取出部に一方の先端が接近して配置され第2の像取出部から取り出された像を他方端から発する第2の光ファイバと、前記第1の光ファイバの他方端に位置しこれから出力される光を検知する第1の光検出部と、前記第2の光ファイバの他方端に位置しこれから出力される光を検知する第2の光検出部と、前記第1と第2の光検出部からの出力を比較して差を出力する比較部と、を具備してなるフォーカス検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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