焦点検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123642
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322561
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】本発明は、被測定表面の形状に影響されることなく、高精度且つ確実に合焦制御を行うことができる焦点検出装置を提供する。【構成】焦点検出装置に配置された被検体37の被測定表面39上の照射面積が所定の大きさを有するように、レーザービームを出射するレーザー射手段27と、被測定表面から反射した反射光を2方向に振り分けて夫々結像させるビームスプリッタ41と、結像位置S、Pに対して前側及び後側に夫々配置された第1及び第2の絞り43、47と、これら第1及び第2の絞りを介して導光される反射光を受光して、その受光量に対応した信号を出力する第1及び第2の受光素子45、49と、これら第1及び第2の受光素子から出力された信号に対して所定の演算を施して、被測定表面39の変位に対する変位信号を出力する信号処理系51とを備える。

請求項（抜粋）：

焦点検出系に配置された被検体の被測定表面上の照射面積が所定の大きさを有するように、照明光を出射する光出射手段と、前記被測定表面から反射した反射光を2方向に振り分けて夫々結像させる結像光学系と、この結像光学系によって結像された結像位置に対して前側及び後側に夫々配置された第1及び第2の絞り手段と、これら第1及び第2の絞り手段を介して導光される反射光を受光して、受光量に対応した信号を出力する第1及び第2の受光素子と、これら第1及び第2の受光素子から出力された前記信号に対して所定の演算を施して、前記被測定表面の変位に対する変位信号を出力する信号処理系と、を備えていることを特徴とする焦点検出装置。

IPC (2件)：

G01C 3/06 , G01B 11/00

引用特許：

出願人引用 (12件)

特開昭51-051957
特開昭51-118465
特開昭52-107855

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審査官引用 (1件)

特開昭51-118465

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