特許
J-GLOBAL ID：200903052344459903
プラズマディスプレイパネルの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-273443
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092133
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 AC型プラズマディスプレイパネル(PDP)の製造方法に関し、誘電体層を保護し良好な放電特性を得るための保護膜である、<111>配向の酸化マグネシウム膜を低温度で且つスループット高く形成する。【解決手段】 PDPの放電空間に接してプラズマ放電によるイオン衝撃から誘電体層を保護する酸化マグネシウムの保護層を形成するにあたって、チャンバ15内で基板ホルダ13に電源装置12から高周波電圧を印加し、基板1aの表面にプラズマ放電を発生させる。この状態で熱電子流16を利用してルツボ18から酸化マグネシウムを蒸発させ、蒸着法により基板1aの表面に酸化マグネシウム膜を形成する。プラズマ放電を発生させることで、180°C程度の低い基板温度でも酸化マグネシウム膜を蒸着法でスループット高く成膜する。<111>配向の酸化マグネシウム膜は、二次電子放出係数が高いので、AC型PDPの駆動電圧を低くする作用がある。特に大面積のプラズマディスプレイパネルの製造に適する。
請求項（抜粋）：
一対の絶縁性基板、該双方の絶縁性基板上に夫々配置されて相互に対向する各電極部、該各電極部を覆う誘電体層、及び、少なくとも一方の誘電体層を覆う蒸着形成の酸化マグネシウム層を有し、放電ガス空間の放電により表示を行なう形式の交流駆動型プラズマディスプレイパネルを製造する方法において、酸化マグネシウム層を形成する工程が、蒸着面上にプラズマ放電を発生させる手順と、プラズマ放電を発生させた状態で蒸着を行なう手順とを含み、主として酸化マグネシウムの<111>配向膜を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
引用特許：
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