角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-317325
公開番号（公開出願番号）：特開2008-128963
出願日： 2006年11月24日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：

【課題】センサ素子としての音叉状水晶片の配置精度を確実にして、角速度の検出精度を高めた角速度センサを提供すること。【解決手段】少なくとも一対の音叉腕6が音叉基部5から長手方向に延出した音叉状水晶片1を有し、前記音叉腕には音叉振動を励振する駆動電極とコリオリの力に基づいた電荷を検出するセンサ電極とを有し、前記音叉基部の一主面には前記駆動電極及び前記センサ電極から延出した引出端子を有するセンサ素子1を備え、前記音叉基部を平面視矩形状とした容器本体の長手方向の一端側の音叉用台座7に固着して、前記引出端子をワイヤーボンディングによって導出してなる角速度センサにおいて、前記音叉基部には第1嵌合部10を設けて前記音叉用台座には第2嵌合部11を設け、前記第1嵌合部と前記第2嵌合部とを嵌合して、前記音叉状水晶片と前記容器本体との長手方向を一致させた構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも一対の音叉腕が音叉基部から長手方向に延出した音叉状水晶片を有し、前記音叉腕には音叉振動を励振する駆動電極とコリオリの力に基づいた電荷を検出するセンサ電極とを有し、前記音叉基部の一主面には前記駆動電極及び前記センサ電極から延出した引出端子を有するセンサ素子を備え、前記音叉基部を平面視矩形状とした容器本体の長手方向の一端側の音叉用台座に固着して、前記引出端子をワイヤーボンディングによって導出してなる角速度センサにおいて、前記音叉基部には第1嵌合部を設けて前記音叉用台座には第2嵌合部を設け、前記第1嵌合部と前記第2嵌合部とを嵌合して、前記音叉状水晶片と前記容器本体との長手方向を一致させたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/18

FI (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A

Fターム (7件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB01 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

角速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-016785 出願人：日本電波工業株式会社

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