特許
J-GLOBAL ID：200903083992215613
角速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-016785
公開番号（公開出願番号）：特開2006-208030
出願日： 2005年01月25日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【目的】音叉型水晶素子の固着作業や調整を容易にして無駄を排除するとともに小型化を促進する角速度センサ及びその製造方法を提供する。【構成】音叉振動を励起する駆動電極及び角速度に応じて生じた電荷を検出するセンサ電極の設けられた音叉型水晶素子と、前記音叉型水晶素子における音叉基部の一主面が固着されて予め一体化される独立の台座と、前記音叉型水晶素子を密閉封入して前記音叉型水晶素子に一体化した前記台座が内底面に固着される凹部を有した表面実装用の容器本体と、前記音叉型水晶素子を駆動する発振回路及び前記電荷に応じて角速度に対応する信号を生成する信号処理回路を有して前記容器の内部又は外部に配置されたICとを備えた角速度センサであって、前記台座は、一体化される前記音叉型水晶素子の重心を前記音叉基部側に移行して、前記音叉型水晶素子の水平方向を維持して保持する重量及び又は形状であることを特徴とする角速度センサ。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
音叉振動を励起する駆動電極及び角速度に応じて生じた電荷を検出するセンサ電極の設けられた音叉型水晶素子と、前記音叉型水晶素子における音叉基部の一主面が固着されて予め一体化される独立の台座と、前記音叉型水晶素子を密閉封入して前記音叉型水晶素子に一体化した前記台座が内底面に固着される凹部を有した表面実装用の容器本体と、前記音叉型水晶素子を駆動する発振回路及び前記電荷に応じて角速度に対応する信号を生成する信号処理回路を有して前記容器の内部又は外部に配置されたICとを備えた角速度センサであって、前記台座は、一体化される前記音叉型水晶素子の重心を前記音叉基部側に移行して、前記音叉型水晶素子の水平方向を維持して保持する重量及び又は形状であることを特徴とする角速度センサ。
IPC (5件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08
, H01L 41/18
, H01L 41/22
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101A
, H01L41/22 Z
2F105AA08
, 2F105AA10
, 2F105BB13
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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