特許
J-GLOBAL ID：200903052376927623
光起電力素子の特性検査装置及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-000358
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186212
出願日： 1996年01月05日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、光起電力素子に照射する光量に依存した電圧特性を測定することにより、光起電力素子のシャントの度合いが確認でき、長期信頼性の確保できる素子を抽出することが可能な、光起電力素子の特性検査装置及び製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の光起電力素子の特性検査装置は、少なくとも光源と測定部からなる光起電力素子の特性検査装置において、前記光起電力素子で発生した起電圧が、照射される光量に対してほぼ直線状に変化する範囲にある前記光量の光を、前記光起電力素子の光照射面側の少なくとも一部に照射することを特徴とする。本発明の光起電力素子の製造方法は、前記特性検査装置を用いて光起電力素子の特性検査を行う工程を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも光源と測定部からなる光起電力素子の特性検査装置において、前記光起電力素子で発生した起電圧が、照射される光量に対してほぼ直線状に変化する範囲にある前記光量の光を、前記光起電力素子の光照射面側の少なくとも一部に照射することを特徴とする光起電力素子の特性検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/067
, H01L 31/04
H01L 21/66 X
, H01L 21/66 B
, G01R 1/067
, H01L 31/04 K
