特許
J-GLOBAL ID：200903052423173560
気相成長装置及びクリーニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-012012
公開番号（公開出願番号）：特開平11-200053
出願日： 1998年01月06日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【課題】 CVD成膜を除去するin-situクリーニングにおけるクリーニング終点を検出し、石英冶具にダメージなくエッチングする機能を装備して保守性向上を図った気相成長装置及びそのクリーニング方法の技術を提供する。【解決手段】 石英内管2b、石英内管2bと石英外管2aとの間に、先端の封止された石英管13a、13b、石英管の先端部における光強度の変化を測定するための赤外線放射温度計11、赤外線放射温度計にて測定された値を表示するためのモニター装置12及びクリーニングガス導入口6bを有しており、クリーニング時、容易に反応炉2内の除去状況を検出することができる。また、終点検出後、クリーニングガスの供給口を切り替えることにより石英冶具にダメージを与えることなく、均一に反応炉をクリーニングすることができる。
請求項（抜粋）：
反応炉内にクリーニングガスを導入する機構と、反応炉内に設置された検出部の光強度を検出する機構とを有する気相成長装置。
IPC (5件)：
C23C 16/44
, G01J 5/02
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
C23C 16/44 J
, G01J 5/02 K
, H01L 21/205
, H01L 21/31 B
, H01L 21/302 N
