特許

J-GLOBAL ID：200903052434567829

3点法による形状測定方法及び装置

発明者： 荻原 元徳
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227901
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050739
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 検出器の相対角度測定や再配置等の熟練を要する設定作業を不要にする。【解決手段】 被測定対象であるワークの周囲に所定の角度をなすように配置された3つの検出器11,12,13と、これら検出器11,12,13の出力からワークの形状の空間周波数成分を抽出するフィルタ装置14,15,16と、フィルタ装置14の出力データをシフトさせる角度シフト装置17,18と、シフトさせる相対角を推定する相対角推定器19,20と、これにより求められた相対角推定値と各検出器11,12,13からのデータとに基づいてワークの形状を演算する3点法演算部21とを備える。

請求項（抜粋）：

回転するワークの周囲にその回転方向に所定角度をもってそれぞれ配置されて、それぞれが前記ワークの回転に伴う前記ワーク表面の半径方向への変位を検出して検出信号を出力する第1、第2及び第3の検出器と、これら第1〜第3の検出器の検出信号からそれぞれ前記ワークの形状データを含む空間周波数成分を抽出する第1、第2及び第3のフィルタ手段と、前記第1のフィルタ手段の出力と前記第2のフィルタ手段の出力とをサンプリング方向に相対的にシフトさせながら両者の誤差が最も小さくなる第1のシフト量を求めると共に、前記第1のフィルタ手段の出力と前記第3のフィルタ手段の出力とをサンプリング方向に相対的にシフトさせながら両者の誤差が最も小さくなる第2のシフト量を求め、前記第1のシフト量から前記第1及び第2の検出器間の第1の相対角度を求め、前記第2のシフト量から前記第1及び第3の検出器間の第2の相対角度を求める相対角算出手段と、前記第1〜第3の検出器の検出信号と相対角算出手段で算出された第1及び第2の相対角度とに基づいて3点法により前記ワークの形状を算出する3点法演算手段とを備えたことを特徴とする3点法による形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/20 ,  G01B 21/30 101

FI (2件)：

G01B 21/20 C ,  G01B 21/30 101 F

Fターム (17件)：

2F069AA51 ,  2F069DD12 ,  2F069DD15 ,  2F069DD25 ,  2F069EE02 ,  2F069EE21 ,  2F069GG01 ,  2F069GG39 ,  2F069GG50 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL06 ,  2F069NN02 ,  2F069QQ05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平1-254805
  
• 表面プロフィール測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-021250   出願人：川崎製鉄株式会社