アクティブマトリクス型液晶表示装置及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036799
公開番号（公開出願番号）：特開2002-244126
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】反射型のアクティブマトリクス型液晶表示装置において、反射膜が確実に形成され、反射膜を形成するための露光量が少なくて済み、製造時間を短縮でき、製造プロセスが単純であり、画素ごとに十分なストレージ容量を確保できるようにする。【解決手段】画素ごとに、凹凸構造の形成領域において、第1の絶縁層60と下部絶縁膜56の間に配置され、薄膜トランジスタのソース電極と電気的に接続するとともに反射膜51に電気的に接続する上部電極59と、ガラス基板55と下部絶縁膜56の間に配置され、上部電極59と蓄積容量を形成する下部電極58とを設ける。パターニングされた第1の絶縁層61の形状に基づいて反射膜51の表面の凹凸形状が定まるようにする。フォトリソグラフィによる第1の絶縁層61のパターニング時に、上部電極59が反射部材として機能するようにする。

請求項（抜粋）：

透明な第1の基板と、第2の基板と、前記第2の基板上に形成された下部絶縁膜と、前記第2の基板上に画素ごとに設けられたスイッチング素子と、前記下部絶縁膜上に設けられ画素の有効領域に対応して凹凸構造を有する絶縁層と、前記画素ごとに前記絶縁層上に前記凹凸構造を反映させた形状で設けられた反射膜と、前記第1の基板と前記第2の基板の前記反射膜側で挟み込まれた液晶層とを有するアクティブマトリクス型液晶表示装置において、前記画素ごとに、前記凹凸構造の形成領域において前記絶縁層と前記下部絶縁膜の間に設けられ、前記スイッチング素子のソース電極と電気的に接続する上部電極と、前記第2の基板と前記下部絶縁膜の間に設けられ、前記上部電極と蓄積容量を形成する下部電極とを有し、前記凹凸構造の形成領域において前記上部電極の略全面に対応して前記下部電極が形成されていることを特徴とする、アクティブマトリクス型液晶表示装置。

IPC (8件)：

G02F 1/1335 520 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 330 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (7件)：

G02F 1/1335 520 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 330 Z , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 A , H01L 29/78 612 D

Fターム (71件)：

2H091FA01Y , 2H091FA14Z , 2H091FA41Z , 2H091GA13 , 2H091LA30 , 2H092JA03 , 2H092JA26 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JA46 , 2H092JB57 , 2H092JB61 , 2H092KA05 , 2H092KB24 , 2H092MA12 , 2H092MA13 , 2H092NA25 , 2H092PA12 , 5C094AA01 , 5C094AA10 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA15 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094ED11 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE07 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG45 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK07 , 5F110HK08 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL03 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN27 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5G435AA01 , 5G435AA03 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435BB16 , 5G435CC09 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK09 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (3件)

反射型液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-322010 出願人：日本電気株式会社
特開平4-335617
反射型アクティブマトリクス基板及びその製造方法並びに液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-184084 出願人：シャープ株式会社

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