特許
J-GLOBAL ID：200903052445925492

水晶振動子および水晶振動子の製造方法

発明者：
森迫 勇

森迫 勇 について

, 
吉田 尚人

吉田 尚人 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-226038
公開番号（公開出願番号）：特開平11-068501
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 経時変化により発振特性が劣化しない水晶振動子および水晶振動子の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 水晶板の両面に銀電極を形成する水晶振動子の製造方法において、真空チャンバ14内で水晶板11に銀を蒸着させて銀電極12を形成し、銀電極12の上に酸化珪素などの絶縁膜13を堆積する。一方の面の絶縁膜13’を堆積する過程(または厚めに堆積された絶縁膜13’をドライエッチングにより除去する過程)において、水晶振動子15の周波数を連続的に測定し、計測周波数が設定周波数と一致した時点で堆積(または除去)を停止することにより周波数調整を行う。銀電極12、12’を両面とも絶縁膜13、13’によって保護するので、銀電極12、12’の重量の経時変化が極めて小さく、発振特性の劣化を防止することができる。
請求項（抜粋）：
水晶板の表面と裏面に電極を形成してなる水晶振動子であって、前記2面に形成された電極上に絶縁膜が堆積され前記電極が外部雰囲気から遮断されていることを特徴とする水晶振動子。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  C23C 14/10 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02
FI (5件)：
H03H 9/19 A ,  C23C 14/10 ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z
引用特許：
審査官引用 (18件)
  • 特開昭57-127317
  • 特開昭57-127317
  • 特開昭55-018190
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