位相物体検出装置及び位相物体検出方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：角田嘉宏 , 古川安航 , 西谷俊男 , 幅慶司 , 中尾優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-349098
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155982
出願日： 2005年12月02日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】簡潔な装置構成により画像中の位相物体を検出する。【解決手段】平行光源または点光源からなる光源と、前記光源から出射されて試料を透過した光を集光する光学系と、前記光学系により集光された光に基づいて画像データを生成する撮像素子と、前記試料と前記光学系の焦点の相対位置を少なくとも光軸方向に変化させる駆動装置と、制御装置と、を備え、前記制御装置は、駆動装置を制御することにより前記焦点を前記試料と前記光学系の間に配置することで得られた画像データを前ピント画像データとし、駆動装置を制御することにより前記試料を前記焦点と前記光学系の間に配置することで得られた画像データを後ピント画像データとし、前記前ピント画像データ及び前記後ピント画像データを用いて位相物体を検出する。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

平行光源または点光源からなる光源と、前記光源から出射されて試料を透過した光を集光する光学系と、前記光学系により集光される光を受光し、該受光された光に基づいて画像信号を生成する撮像素子と、前記試料と前記光学系の焦点との相対位置を少なくとも前記光学系の光軸方向に変化させる駆動装置と、制御装置と、を備え、前記制御装置が、前記撮像素子が生成する画像信号から所定のデジタル画像データを生成する位相物体検出装置であって、前記制御装置が、前記駆動装置を制御することにより前記焦点を前記試料と前記光学系との間の前記光軸上の点に合わせたときに生成される前記デジタル画像データを前ピント画像データとして記憶し、前記駆動装置を制御することにより前記試料を前記焦点と前記光学系との間の前記光軸上の点に配置したときに生成される前記デジタル画像データを後ピント画像データとして記憶し、前記前ピント画像データ及び前記後ピント画像データを用いて前記試料における位相物体を検出する、位相物体検出装置。

IPC (5件)：

G02B 21/00 , G02B 21/36 , C12M 1/34 , C12Q 1/04 , G01B 11/00

FI (5件)：

G02B21/00 , G02B21/36 , C12M1/34 Z , C12Q1/04 , G01B11/00 H

Fターム (23件)：

2F065AA06 , 2F065BB22 , 2F065BB23 , 2F065DD04 , 2F065FF04 , 2F065FF44 , 2F065GG23 , 2F065HH02 , 2F065HH03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2H052AF14 , 2H052AF25 , 4B029AA07 , 4B029BB11 , 4B029BB12 , 4B029FA01 , 4B063QA01 , 4B063QQ08 , 4B063QQ09 , 4B063QX01

引用特許：

出願人引用 (5件)

位相差顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-169789 出願人：株式会社ニコン
位相差検鏡用自動焦点検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-126766 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-328549

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審査官引用 (4件)

位相差検鏡用自動焦点検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-126766 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-328549
特開平4-254815

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