特許
J-GLOBAL ID:200903052544517398
記録ヘッドの製造方法と記録ヘッド及びインクジェット記録装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小島 俊郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-354613
公開番号(公開出願番号):特開2004-181893
出願日: 2002年12月06日
公開日(公表日): 2004年07月02日
要約:
【課題】ノズル形成部材に対する撥水層の密着性向上とエキシマレーザによる加工性の向上を図るとともに、製作工数と不良の発生の低減を図る。【解決手段】ノズル基板40を、インク吐出側表面に撥水膜405を有し、ノズル46を形成するノズル形成部材401と、ノズル基板40のインク吐出側と反対の面に接合されるインク液室の一方の面を構成する液室構成部材402とで構成し、ノズル形成部材401と液室構成部材402を接合するとき、ノズル形成部材401と複数の液室構成部材402が一体に配列された液室構成部材ウエハ409を接合したのち、ノズル形成部材401にノズル46を加工して所定サイズに切断してチップ状にする。【選択図】 図9
請求項(抜粋):
インク滴を吐出する複数のノズルを有するノズル基板と、前記各ノズルが連通する複数のインク液室とを有し、各ノズルに対応するエネルギーを発生するアクチュエータを駆動して前記ノズルからインク滴を吐出させる記録ヘッドの製造方法において、
前記ノズル基板は、インク吐出側表面に撥水膜を有し、ノズルを形成するノズル形成部材と、ノズル基板のインク吐出側と反対の面に接合されるインク液室の一方の面を構成する液室構成部材を有し、
ノズル形成部材と液室構成部材を接合するとき、ノズル形成部材と複数の液室構成部材が一体に配列された液室構成部材集合体を接合したのちノズル形成部材にノズルを加工して所定サイズに切断してチップ状にして、前記アクチュエータと接合することを特徴とする記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103N
Fターム (9件):
2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AG54
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP23
, 2C057AP25
, 2C057AP60
, 2C057AQ03
引用特許:
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