非熱プラズマによる脱着・再生方法及びその装置

発明者： ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：森正澄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-284077
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114351
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【目的】排ガス処理において、排ガスを吸着材から効果的に脱着させ、排ガスの脱着及び吸着材の再生を効率良く、低廉な費用で行うことの可能な非熱プラズマによる脱着・再生方法及びその装置を提供することを目的とする。【構成】排ガスを吸着した吸着材に非熱プラズマを印加することにより、吸着材に吸着された排ガスを脱着するとともに、吸着材が再生され、また、発生した非熱プラズマによって、吸着材から脱着された排ガスの分解も行われる非熱プラズマの脱着・再生方法及びその装置である。

請求項（抜粋）：

排ガスを吸着材に吸着させる工程と、前記排ガスを吸着した吸着材に非熱プラズマを印加する工程とを備え、前記非熱プラズマの印加工程において、吸着材に吸着された排ガスの脱着とともに吸着材の再生を行うことを特徴とする非熱プラズマによる脱着・再生方法。

IPC (3件)：

B01D 53/04 , B01D 53/34 , B01D 53/81

FI (2件)：

B01D 53/04 , B01D 53/34 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

吸着剤を用いた炭化水素処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-003902 出願人：三菱重工業株式会社, 高菱エンジニアリング株式会社
消臭装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-076991 出願人：松下電工株式会社
特公平4-009571

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