光学的情報記録媒体及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330636
公開番号（公開出願番号）：特開平10-222880
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】誘電体層を、記録層に接しないところではZnSとSiO2の混合ターゲットを用いて、希ガスと少なくとも酸素を含む雰囲気中で成膜することにより、機械的強度が高まる上に、熱的にも安定で、オーバーライトサイクル特性を向上させた相変化型光学的情報記録媒体及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板上1に、レーザー光線の照射によって光学的に識別可能な状態間で可逆的変化を生じる材料からなる記録層4と、その上下の少なくとも一方が2層からなる誘電体層からなり、記録層4に接しない第1の誘電体層2と第4の誘電体層5の少なくとも一方がZnSとSiO2の混合ターゲットを用いて希ガスと酸素を含む混合ガス雰囲気中で成膜する。

請求項（抜粋）：

レーザ光線の照射によって光学的に識別可能な状態間で可逆的な変化を生じる材料を含む記録層と、前記記録層に離隔した誘電体を含む第一の保護層を少なくとも一方の主面に含み、前記第一の保護層の前記誘電体を、Zn、S及びSiを含むターゲットを、希ガスと少なくとも酸化作用のあるガス成分を少なくとも1種類以上含む混合雰囲気中でスパッタリングによって成膜する工程を含み、前記第一の保護層の前記誘電体は、材料または材料組成の少なくとも一方が膜厚方向で異なることを特徴とする光学的情報記録媒体の製造方法。

IPC (3件)：

G11B 7/26 521 , G11B 7/24 535 , G11B 7/24

FI (3件)：

G11B 7/26 521 , G11B 7/24 535 G , G11B 7/24 535 H

引用特許：

審査官引用 (8件)

光学的情報記録媒体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-104314 出願人：松下電器産業株式会社
誘電体膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-314743 出願人：松下電器産業株式会社
特開平2-007240

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