特許
J-GLOBAL ID：200903052653449408
多層膜反射鏡の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-189577
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033699
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 多層膜反射鏡の光学特性劣化の原因となる、多層膜の内部応力による基板変形を低減または解消した多層膜反射鏡を製造する方法を提供すること。【解決手段】 基板1上に、軟X線領域の光に対する屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質の層2と大きい物質の層3とを交互に複数回積層して、圧縮応力を有する交互多層膜を形成することにより、多層膜反射鏡を製造する方法において、 前記基板1として、前記多層膜の熱膨張率よりも小さい熱膨張率を有する材料からなる基板を使用し、かつ該基板を加熱しながら前記多層膜を形成した後、これを冷却して多層膜使用時の状態とすることにより、製造される多層膜反射鏡の基板変形を解消または低減することを特徴とする多層膜反射鏡の製造方法。
請求項（抜粋）：
基板上に、軟X線領域の光に対する屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質の層と大きい物質の層とを交互に複数回積層して、圧縮応力を有する交互多層膜を形成することにより、多層膜反射鏡を製造する方法において前記基板として、前記多層膜の熱膨張率よりも小さい熱膨張率を有する材料からなる基板を使用し、かつ該基板を加熱しながら前記多層膜を形成した後、これを冷却して多層膜使用時の状態とすることにより、製造される多層膜反射鏡の基板変形を解消または低減することを特徴とする多層膜反射鏡の製造方法。
引用特許：
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