荷電粒子線照射装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333829
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156132
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】比較的長距離で時間がかかるステージの移動や装置の状態変更を減らし、異物・欠陥の観察・識別時間を短縮させた走査電子顕微鏡等の荷電粒子線照射装置を提供する。【解決手段】画像取得位置の移動順序を考慮することで、比較的長距離で時間がかかるステージの移動を減らし、また、画像取得と装置状態変更の順序を考慮することで、時間がかかる該装置状態の変更回数を減らした装置を提供する。【効果】時間がかかるステージの移動や装置状態の変更回数を減らせ、異物・欠陥の観察・識別時間を短縮させて、単位時間あたりに検査できる欠陥の数を増やすことができる。

請求項（抜粋）：

試料上に荷電粒子線を照射するために設けた電子光学系と、試料から発生する二次電子やその他の信号を検出する検出系と、検出した信号から画像を作成する画像生成手段と、該画像を記憶する画像記憶手段と、試料を保持する試料台と、試料を観察表面に平行なXY方向に移動させる試料移動機構とを備え、試料上に存在する欠陥位置の情報に基づいて、試料の欠陥を含む検査個所の画像(欠陥画像)と、それと同一の表面構造を有する欠陥が無い個所の画像(参照画像)を作成、比較し、欠陥に関する情報を抽出して検査するように構成した荷電粒子線照射装置において、検査個所への移動時間が短くなるように移動順序を設定可能としたことを特徴とする荷電粒子線照射装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01N 23/225 , H01J 37/20

FI (4件)：

H01L 21/66 J , H01L 21/66 L , G01N 23/225 , H01J 37/20 D

Fターム (28件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB05 , 4M106DB30 , 4M106DJ04 , 4M106DJ06 , 4M106DJ11 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21 , 4M106DJ38 , 5C001AA03 , 5C001CC04

引用特許：

審査官引用 (3件)

異物組成自動分析装置及び異物組成自動分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-095071 出願人：富士通株式会社
パターン検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-131460 出願人：株式会社日立製作所
荷電粒子装置及び荷電粒子装置ネットワークシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-229638 出願人：株式会社日立製作所

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