荷電粒子装置及び荷電粒子装置ネットワークシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229638
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067136
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】マニュアルアシスト及び/又はパターン検査時におけるその容易化を図ること。【解決手段】記憶装置10に複数の動作条件ファイル11と複数の参照画像13を登録(記憶)可能とする。動作条件ファイルは、動作条件ファイルと参照画像を関連づけるためのインデックス12を含む。動作条件ファイルを用いた運転中の任意の時点で動作条件ファイルのインデックスで指し示す参照画像と被測定物3の表面形状を示す画像を表示装置6に表示する。

請求項（抜粋）：

試料を荷電粒子ビームで走査し、それによって前記試料から得られる該試料特有の信号を検出し、該信号にもとづいて前記試料の像を表示する荷電粒子装置において、該荷電粒子装置の予め定められた動作条件ファイルと、該動作条件ファイルに関連づけられた、前記試料の像の参照像とを記憶する記憶装置を備え、前記動作条件ファイルを読み出し、該読み出された動作条件ファイルにしたがって前記荷電粒子装置を動作させている間に、その読み出された動作条件ファイルに関連づけられた参照像を随時読み出し、表示するように構成したことを特徴とする荷電粒子装置。

IPC (4件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/28 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (4件)：

H01J 37/22 502 H , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , H01L 21/30 541

引用特許：

審査官引用 (2件)

パターン形状検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-343083 出願人：株式会社日立製作所
走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-230458 出願人：株式会社日立製作所

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