特許

J-GLOBAL ID：200903052660007860

液晶表示装置の製造方法

発明者： 久保田 健 ,  坂本 孝雄
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-128999
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333651
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 液晶表示装置の製造工程において、従来の製造法は工程数が多く欠陥などが発生しやすいため、表示品質を低下させずに製造工程を簡略化する。【構成】 信号保持容量電極と薄膜トランジスタのチャネル部分を、同じ半導体材料で同時に膜形成およびパターニングすることによって形成し、その後、チャネル部分の厚さに比べて信号保持容量電極の厚さを薄くする。

請求項（抜粋）：

それぞれ薄膜トランジスタと信号保持容量を備えた複数の表示電極が、アドレスラインとデータラインの交点位置にマトリックス状に配置されたアレイ基板と、透明電極が形成された対向基板との間に、液晶層を挟持して構成される液晶表示装置の製造工程において、信号保持容量電極と薄膜トランジスタのチャネル部分を、同じ半導体材料で同時に膜形成およびパターニングすることによって形成し、その後、チャネル部分の厚さに比べて信号保持容量電極の厚さを薄くすることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/786

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-276102   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開平2-165125
  
• 特開平3-096235