特許
J-GLOBAL ID：200903052675708016
コンタクトホールの検査方法、及び、検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古溝 聡 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-149016
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340624
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 簡単な設備でコンタクトホールの開口状況を検査する。【解決手段】 基板移動機構2は、コンタクトホールが形成された絶縁膜を有する半導体装置10を載置したキャリッジ1を搬送する。コロナ放電式帯電機構3は、コロナ放電によって、絶縁膜の開口されたコンタクトホールを除く領域に荷電粒子を付着させ、絶縁膜表面を帯電させる。微粒子付着機構4は、帯電した微粒子を、絶縁膜の荷電粒子と微粒子との間に働く静電力によって、絶縁膜に付着させる。なお、微粒子の色及び光の反射率の何れか一方は、絶縁膜とは異なる。光学式検査機構5は、光学顕微鏡等によって、絶縁膜に付着した微粒子の量を検出し、未開口のコンタクトホールを検出する。
請求項（抜粋）：
所定領域にコンタクトホールが形成された絶縁膜の表面を帯電させる帯電工程と、前記絶縁膜と帯電した第1の粒子との間に働く静電力によって、該第1の粒子を該絶縁膜に付着させる粒子付着工程と、前記第1の粒子の付着量を光学的に検出する粒子検出工程と、前記粒子検出工程の検出結果から、未開口のコンタクトホールを検出するホール検出工程と、を備えることを特徴とするコンタクトホールの検査方法。
Fターム (11件)：
4M106AA01
, 4M106AA12
, 4M106BA03
, 4M106BA14
, 4M106BA20
, 4M106CA39
, 4M106CA55
, 4M106CA70
, 4M106DB18
, 4M106DB21
, 4M106DB30
