特許

J-GLOBAL ID：200903052690146865

磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体の製造に用いられる連結装置

発明者： 高屋 繁明
出願人/特許権者： 富士電機デバイステクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 松本 洋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-017476
公開番号（公開出願番号）：特開2009-181605
出願日： 2008年01月29日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：

【課題】1つの真空成膜装置では、チャンバー数が足りずに、より多層化された磁気記録媒体を製造することが困難である真空成膜装置を、連結することにより、製造を可能とする磁気記録媒体の製造方法および、連結するための連結装置を提供する。【解決手段】ディスク状の磁気記録媒体の製造方法において、枚葉搬送システム302を具備した連結装置301にて、複数の真空成膜装置101,201を連結してなる成膜装置を用いる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ディスク状の磁気記録媒体の製造方法において、枚葉搬送システムを具備した連結装置にて、複数の真空成膜装置を連結してなる成膜装置を用いることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (4件)：

G11B 5/851 ,  G11B 5/85 ,  G11B 7/26 ,  C23C 14/56

FI (4件)：

G11B5/851 ,  G11B5/85 A ,  G11B7/26 531 ,  C23C14/56 G

Fターム (10件)：

4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029KA01 ,  5D112AA24 ,  5D112FA02 ,  5D112FA04 ,  5D112FA09 ,  5D112FB21 ,  5D121EE01 ,  5D121EE19

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第2699045号公報
  
• ディスク被覆システム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-500986   出願人：インテバック・インコーポレイテッド