特許
J-GLOBAL ID:200903097228718822
ディスク被覆システム
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
竹内 澄夫
, 堀 明▲ひこ▼
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-500986
公開番号(公開出願番号):特表2006-517324
出願日: 2004年01月20日
公開日(公表日): 2006年07月20日
要約:
【解決手段】それぞれの上部に処理チャンバが積層され、さまざまなサイズのディスクを取るように調節可能なディスクキャリア上でディスクがシステムを通じて移動するところのディスク処理及び製造装置が記述されている。ディスクはロードゾーンを通じてシステムに進入し、その後ディスクキャリア内に装着される。ディスクはキャリア内にあって、ひとつのレベルで、処理チャンバを通じて連続的に移動し、その後、リフトまたはエレベータにより他のレベルへ移動する。他のレベルにおいて、再びディスクはシステムを通じて連続的に移動し、その後アンロードゾーンで出力される。
請求項(抜粋):
基板を磁気ディスクに処理するための基板処理システムであって、
カセット内の基板を処理システム及び真空環境内に送り込むための入口と、
前記カセットから1枚ずつ基板を持上げるためのリフタと、
基板が垂直方向に維持された状態で、個々に基板を処理するよう互いに隣接配置された処理ステーションと、
個々の基板が処理されてステーションからステーションへ前記処理ステーションを通じて移動する際に、処理ステーション内に基板を運びかつ垂直位置に基板を保持するためのディスクキャリアと、
前記リフタ上の基板をディスクキャリアへ移送するための移送装置と、
処理ステーションから処理ステーション及びアンロードゾーンへディスクキャリアを移動するための移送パス及びドライブであって、前記アンロードゾーンはディスクの処理後にディスクキャリアから処理済ディスクを除去するための及び前記システムの外へ移動されるよう処理済みディスクをカセットに戻すためのリフタを有する、ところの移送パス及びドライブと、
から成り、
前記処理ステーションは処理ステーションの第1層上に配置された処理ステーションの少なくとも第2層と積層されて配置され、その結果、2つの処理ステーションに対するフットプリントはひとつの処理ステーションに対するフットプリントより実質的に大きくはなく、縦方向に配置された2つの処理ステーションのフットプリントより小さい、ところのシステム。
IPC (4件):
G11B 5/84
, G11B 5/851
, C23C 14/56
, H01L 21/677
FI (4件):
G11B5/84 Z
, G11B5/851
, C23C14/56 G
, H01L21/68 A
Fターム (27件):
4K029BB04
, 4K029BC06
, 4K029BD11
, 4K029BD12
, 4K029CA05
, 4K029KA02
, 4K029KA09
, 5D112AA05
, 5D112AA24
, 5D112FA04
, 5D112FB21
, 5D112FB22
, 5D112FB25
, 5F031CA01
, 5F031DA01
, 5F031FA02
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031HA37
, 5F031HA38
, 5F031MA02
, 5F031MA03
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031NA05
, 5F031PA16
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (20件)
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積層型非晶質太陽電池の製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-041117
出願人:三洋電機株式会社
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多段式複数チャンバ真空熱処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-273070
出願人:東横化学株式会社
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磁性体塗工装置および塗工厚検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-157039
出願人:株式会社康井精機
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特開平4-019819
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特開平3-287370
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半導体ウェハキャリア用ストッカー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-126451
出願人:ゼテック株式会社
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製品搬出収納システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-347511
出願人:株式会社アマダ
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染料熱転写記録装置および染着シートカセット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-188649
出願人:松下電器産業株式会社
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走査光学装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-350954
出願人:キヤノン株式会社
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ハードディスク蒸気潤滑剤注入
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-566847
出願人:インテバック・インコーポレイテッド
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特許第5705044号
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特許第5543022号
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特開平4-019819
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特開平3-287370
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特許第5705044号
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特許第5543022号
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特開平4-019819
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特開平3-287370
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特許第5705044号
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特許第5543022号
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