特許

J-GLOBAL ID：200903052705073401

基板検査装置、基板検査方法

発明者： 角田 佳久
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-134977
公開番号（公開出願番号）：特開2004-340632
出願日： 2003年05月13日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】例えばX線画像を使用して基板検査を行う際、X線画像では半田と部品の区別がつかない部品など、X線画像と光学画像とを検査対象に応じて組み合わせて検査することで最適な検査を行う基板検査装置、基板検査方法を提案することを目的とする。【解決手段】X線源1から、部品を実装する被検査対象物5へ照射されたX線の透過X線画像を撮像するX線撮像部3と、この被検査対象物5を撮像する可視光撮像部2とを備え、X線画像及び光学画像によりこの被検査対象物5の検査を行う基板検査装置において、このX線撮像部3で得られるX線画像及びこの可視光撮像部2で得られる光学画像を、合成する画像処理手段13を備えるものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

X線源から、部品を実装する被検査対象物へ照射されたX線の透過X線画像を撮像するX線撮像部と、前記被検査対象物を撮像する可視光撮像部とを備え、X線画像及び光学画像により前記被検査対象物の検査を行う基板検査装置において、 前記X線撮像部で得られるX線画像及び前記可視光撮像部で得られる光学画像を合成する画像処理手段を備える ことを特徴とする基板検査装置。

IPC (3件)：

G01N23/04 ,  G01N21/956 ,  H05K3/34

FI (3件)：

G01N23/04 ,  G01N21/956 B ,  H05K3/34 512B

Fターム (29件)：

2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001CA07 ,  2G001HA07 ,  2G001HA09 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AC01 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16 ,  2G051ED23 ,  2G051FA01 ,  5E319AA03 ,  5E319AA06 ,  5E319AB05 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CC33 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-052246
  
• 特開平4-069511
  
• 接合検査装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-025247   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-125942