特許

J-GLOBAL ID：200903052707893635

半導体レーザ冷却装置

発明者： 上原 実 ,  松坂 文夫 ,  山内 淑久 ,  福冨 誠二
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143374
公開番号（公開出願番号）：特開2001-326410
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 レーザ素子の冷却による結露を抑止可能な半導体レーザ冷却装置を提供する。【解決手段】 レーザダイオードバー1を積層したスタック2に当接するヒートシンク3と、ヒートシンク3に組み込んだ素子温度センサ4及び表面湿度センサ5と、ヒートシンク3の内部の冷媒流路に対して冷却水を供給する冷媒供給機構6と、各センサ4,5からの信号4s,5s及び飽和水蒸気量のデータに基づき冷媒供給機構6から冷媒流路への冷却流体供給量を制御するコントローラ7とを備え、スタック2の温度が結露発生値に近いか否かをコントローラ7により判定して、冷媒流路への冷却流体を供給する管路12の流量調整弁11の開度を調整し、レーザダイオードバー1の冷却に起因した結露を抑止する。

請求項（抜粋）：

冷媒流路を有し且つレーザ素子に当接するヒートシンクと、該ヒートシンクに組み込んだ素子温度センサ及び表面湿度センサと、ヒートシンクの冷媒流路へ冷却流体を送給する冷媒供給機構と、各センサからの信号及び飽和水蒸気量のデータに基づき冷媒供給機構から冷媒流路への冷却流体供給量を制御するコントローラとを備えてなることを特徴とする半導体レーザ冷却装置。

Fターム (7件)：

5F073BA09 ,  5F073EA29 ,  5F073FA11 ,  5F073FA25 ,  5F073FA26 ,  5F073GA14 ,  5F073GA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 波長安定化光源の結露防止装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-093079   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 固体レーザ励起用半導体レーザ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-338534   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開昭61-079285
  
• 特開昭61-079285