特許
J-GLOBAL ID:200903052728762522
酸化物結晶の作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
秋田 収喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-235616
公開番号(公開出願番号):特開平6-122588
出願日: 1992年09月03日
公開日(公表日): 1994年05月06日
要約:
【要約】【目的】 大きい酸化物結晶を作製する。また、Y系123構造を有する結晶を連続的に作製する。【構成】 酸化物結晶の結晶成長において、結晶構成元素を液相に補給する組成が、酸化物結晶と異なる固相を、結晶を成長させる位置から離れた所に内包した少なくとも結晶構成元素からなり、組成が酸化物結晶と異なる液相を用い、固相及び液相とも異なる組成の結晶を成長させることを特徴とする。また、種結晶、種結晶の回転速度及び回転方向、炉内雰囲気をそれぞれ制御して、固相及び液相とも異なる組成の結晶を成長させることを特徴とする。
請求項(抜粋):
酸化物結晶の結晶成長において、結晶構成元素を液相に補給する組成が、酸化物結晶と異なる固相を、結晶を成長させる位置から離れた所に内包した少なくとも結晶構成元素からなり、組成が酸化物結晶と異なる液相を用い、固相及び液相とも異なる組成の結晶を成長させることを特徴とする酸化物結晶の作製方法。
IPC (4件):
C30B 15/02
, C30B 29/16
, H01B 13/00 565
, H01L 39/24 ZAA
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭61-106496
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特開昭63-089487
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特開昭63-242997
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