特許

J-GLOBAL ID：200903052757156364

熱型赤外線検出器

発明者： 小田 直樹
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 宮本 恵司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259796
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071452
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】ペルチェ素子のような温度制御器を用いることなく、環境温度や検出器内の素子の自己発熱等に起因する検出器出力のドリフトを抑制することができ、更に、開口率を増加させて感度を上げることができる熱型赤外線検出器の提供。【解決手段】アレイを構成する各々の画素に、第1の温度検出部5aと第2の温度検出部5bとを設け、双方の温度検出部5a、5bが基板から熱的に分離するようにボロメータ薄膜7を梁6で浮かせて形成し、第1の温度検出部5aには、その端部から梁6及び第2の温度検出部5bに触れないように両外側に向かって延びる庇4を設け、第2の温度検出部5b上層には赤外線反射膜12を形成し、庇4と赤外線反射膜12の熱容量を略等しくすることにより、双方の温度検出部5a、5bにおける環境温度及び自己発熱による温度変化の影響をキャンセルし、第1の温度検出部5a又は庇4に入射した赤外線による信号のみを取り出す。

請求項（抜粋）：

感熱抵抗体で赤外線を検出する熱型赤外線検出器において、第1の温度検出部と第2の温度検出部とを有し、前記第1の温度検出部には、基板から熱的に分離された第1の感熱抵抗体が配設され、前記第2の温度検出部には、前記基板から熱的に分離された第2の感熱抵抗体が前記第1の感熱抵抗体と略同一形状で配設されると共に、前記第2の感熱抵抗体に入射する赤外線を遮断する手段を備えたことを特徴とする熱型赤外線検出器。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33

FI (4件)：

G01J 1/02 C ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33 ,  H01L 27/14 K

Fターム (22件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA34 ,  2G065BC05 ,  2G065CA21 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CA01 ,  4M118CB05 ,  4M118CB06 ,  4M118CB07 ,  4M118CB20 ,  4M118GD20 ,  5C024AX06 ,  5C024CY47 ,  5C024GX08 ,  5C024GX19 ,  5C024HX01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 二次元アレイ型赤外線検出素子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-282860   出願人：日本電気株式会社
• 赤外線固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-012269   出願人：三菱電機株式会社