特許

J-GLOBAL ID：200903052769814014

バックグラインドテープ用ポリエステルフィルム

発明者： 目黒 義男
出願人/特許権者： 三菱化学ポリエステルフィルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-183262
公開番号（公開出願番号）：特開2006-007423
出願日： 2004年06月22日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】 適度な柔軟性を有し、被加工物が薄くなっても、その欠損などが生じることのないバックグラインドテープ用ポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】 A層、B層およびC層の少なくとも3層のポリエステル層からなる共押出し積層フィルムであって、中間層であるB層を構成するポリエステルは、ジカルボン酸成分、脂肪族または脂環式ジオール成分およびポリアルキレンエーテルグリコール成分を主たる構成成分とする共重合ポリエステル樹脂であって、共重合ポリエステル樹脂中におけるポリアルキレンエーテルグリコール成分の割合が10〜35重量%であり、フィルムのヤング率(GPa)とフィルム厚み(mm)の積が0.01〜1.5(GPa・mm)であることを特徴とするバックグラインドテープ用ポリエステルフィルム。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

A層、B層およびC層の少なくとも3層のポリエステル層からなる共押出し積層フィルムであって、中間層であるB層を構成するポリエステルは、ジカルボン酸成分、脂肪族または脂環式ジオール成分およびポリアルキレンエーテルグリコール成分を主たる構成成分とする共重合ポリエステル樹脂であって、共重合ポリエステル樹脂中におけるポリアルキレンエーテルグリコール成分の割合が10〜35重量%であり、フィルムのヤング率(GPa)とフィルム厚み(mm)の積が0.01〜1.5(GPa・mm)であることを特徴とするバックグラインドテープ用ポリエステルフィルム。

IPC (2件)：

B32B 27/36 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B32B27/36 ,  H01L21/304 622J ,  H01L21/304 631

Fターム (16件)：

4F100AH02B ,  4F100AK41A ,  4F100AK41B ,  4F100AK41C ,  4F100AK42 ,  4F100AL01B ,  4F100BA03 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100EH20A ,  4F100EH20B ,  4F100EH20C ,  4F100GB90 ,  4F100JK01 ,  4F100JK13 ,  4F100YY00B

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体ウエハ保護用粘着シートおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-308339   出願人：リンテック株式会社
• 半導体ウエハ保護用粘着シ-ト及び半導体ウエハの研削方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-012122   出願人：日東電工株式会社