特許
J-GLOBAL ID：200903052770076647
マイクロミラー装置及びこれを用いた光ディスク装置並びにマイクロミラー装置の製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375337
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188187
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】【課題】 ミラー部の回動に対するヒンジ部の強度を確保してヒンジ部の破損を有効に抑制すると共に、製造工程に多様性を持たせ、ヒンジ部を微細に且つ精密に成形することを可能とし、更に短時間で簡便に製造することを可能にする。【解決手段】 枠体11及びミラー部12のミラー基板を構成する材料とは異なる、例えばSiNX等の材料でヒンジ部13を構成する。
請求項（抜粋）：
単一基板材料から作製された枠体とミラー基板とを備え、上記ミラー基板上にミラー面が形成されてなるミラー部がヒンジ部を介して上記枠体に連結されることにより、上記ミラー部が上記枠体に対して変位可能に支持されてなるマイクロミラー装置において、上記ヒンジ部が上記枠体及びミラー基板と異なる材料よりなることを特徴とするマイクロミラー装置。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, G11B 7/09
, G11B 7/135
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, G11B 7/09 E
, G11B 7/135 A
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 5D118AA06
, 5D118BA01
, 5D118CA13
, 5D118DC07
, 5D118EA00
, 5D118FA13
, 5D119AA38
, 5D119BA01
, 5D119JA52
, 5D119JC06
, 5D119NA01
審査官引用 (1件)
-
光スキャナー
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-239665
出願人：キヤノン株式会社
前のページに戻る
