特許

J-GLOBAL ID：200903052792486318

光熱信号検出方法及び装置

発明者： 中田 俊彦 ,  二宮 隆典
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082261
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278250
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は光熱信号検出装置に関し、単純構成にして、試料の2次元表面及び内部情報の高速検出を可能とする方法及びその装置を提供することにある。【構成】ストライプ状の励起ビーム101により、試料の複数の測定点を並列に同時に励起し、各点で生じた反射率変化を並列に同時に検出する構成201、202とすることにより、試料の複数測定点の光熱信号を並列に同時に検出することができ、上記目的が達成される。【効果】試料の複数測定点の光熱信号を並列に同時に検出することが可能となるため、試料の2次元表面及び内部情報の高速検出が可能になるという効果を有する。また、光熱効果に基づく熱拡散長が検査対象である内部界面の深さと同じか、もしくはそれを越える長さとなるように、励起ビームの強度変調周波数を設定することにより、内部界面の検査が可能になるという効果を有する。

請求項（抜粋）：

変更可として設定された周波数fEで強度変調した光を試料表面の複数の測定点に照射して、該複数の測定点の表面において上記周波数fEと同期した周期的な反射率変化を発生させ、該複数の測定点に他の光を照射してその反射光を、各測定点に対応した複数個の光電変換素子からなる検出器で検出し、該検出した反射光強度信号の中から、上記反射率変化に基づく上記強度変調周波数fEと同期した反射光強度変化を光熱信号として上記複数の測定点ごとに検出し、該光熱信号より試料の複数の測定点の表面及び内部情報を検出することを特徴とする光熱信号検出方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光音響信号検出方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-340647   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭61-254834
  
• 特公平3-047703
  
• 特公平2-032578