特許

J-GLOBAL ID：200903052857365785

振動計測装置

発明者： 酒井 正彦
出願人/特許権者： 株式会社小野測器
代理人 (1件)： 山田 正紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-024541
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221077
出願日： 1999年02月02日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】本発明は、移動する被測定体上の定点の振動を計測する振動計測装置に関し、移動する被測定体の振動を確実に計測する。【解決手段】レーザドプラ振動計10から出力されたレーザ光の照射点Pを4分割センサ14を用いてモニタし、その照射位置を調整する。

請求項（抜粋）：

移動する被測定体上の定点の振動を計測する振動計測装置において、レーザドプラ振動計と、前記レーザドプラ振動計から出射したレーザ光を反射する、所定の制御信号に応じて所定のx方向の反射角度が調整される第1の可動ミラーと、前記レーザドプラ振動計から出射し前記第1の可動ミラーで反射したレーザ光をさらに反射する、所定の制御信号に応じて、前記x方向とは異なる所定のy方向の反射角度が調整される第2の可動ミラーと、前記第2の可動ミラーで反射し、被測定体で反射し、さらに前記第2の可動ミラーおよび前記第1の可動ミラーで反射して前記レーザドプラ振動計に向かって戻ってきた戻り光の一部を、該レーザドプラ振動計に戻る光路とは異なる光路に分岐させるハーフミラーと、前記ハーフミラーで分岐した戻り光を受光して該戻り光のx方向、y方向への移動に応じて変化する受光信号を生成する受光センサと、前記受光センサで生成された受光信号に基づいて、前記第1の可動ミラーおよび前記第2の可動ミラーによる、レーザ光の、それぞれx方向およびy方向の反射角度を制御するための各制御信号を生成する制御回路部とを備えたことを特徴とする振動計測装置。

IPC (2件)：

G01H 9/00 ,  G01S 17/50

FI (2件)：

G01H 9/00 C ,  G01S 17/50

Fターム (14件)：

2G064AB26 ,  2G064BC05 ,  2G064BC14 ,  2G064BC15 ,  5J084AA02 ,  5J084AB17 ,  5J084AD04 ,  5J084BA14 ,  5J084BA38 ,  5J084BB14 ,  5J084BB16 ,  5J084BB24 ,  5J084BB28 ,  5J084EA20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光学式振動検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-101331   出願人：東京電力株式会社, 日本碍子株式会社
• 特開昭62-061021
  
• 特開昭62-061021