特許
J-GLOBAL ID：200903017517967942

光学式振動検出装置

発明者：
小澤 明夫

小澤 明夫 について

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石橋 武

石橋 武 について

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秋月 優宏

秋月 優宏 について

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鈴木 康人

鈴木 康人 について


出願人/特許権者：
東京電力株式会社

東京電力株式会社 について

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日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-101331
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167609
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 被測定物の揺動速度に対応して光軸補正を正確に行うことができる光学式振動検出装置を提供すること。【構成】 反射ビーム光R2の光軸の変位を、位置検出回路49が有する4分割フォトダイオード50により検出し、同検出量に基づいて位置検出回路49が光軸の補正量を算出する。この補正量に基づいてチルト装置35が有するミラー62の反射角度が可変され、光軸が補正される。
請求項（抜粋）：
被測定物に振動検出用光を照射する照射光学系と、同被測定物からの反射光を受光する受光学系とを備え、前記振動検出用反射光と基準となる参照光とを光干渉させ、この光干渉信号を光・電変換器により電気信号に変換した後、前記被測定物の振動を計測する振動計測部を備えた光学式振動検出装置において、前記受光学系に反射光の光軸の変位を検出する光軸変位検出手段を組み込み、さらに、同光軸変位検出手段により検出された反射光の光軸の変位に基づいて照射光及び反射光の光軸の変位を補正する光軸補正手段を前記照射光学系に設けた光学式振動検出装置。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/00
引用特許：
出願人引用 (18件)
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