静電アクチュエータおよび静電支持機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056290
公開番号（公開出願番号）：特開平9-247961
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】可動子と固定子との間の摩擦を低減しつつ可動子の可動範囲を十分に確保することができる静電アクチュエータを提供する【解決手段】静電アクチュエータ1は円柱形状の固定子10と、固定子10内部に固定子10の内周面と所定の間隙をおいて配置された円柱形状の可動子30とを有している。固定子10の内周面上には円周方向に延びる複数の固定子電極22a〜22h,23a〜23h,・・・が設けられ、可動子30の外周面上には円周方向に延びる可動子電極41a〜41iが設けられている。固定子電極22a〜22h,23a〜23h,・・・は、全体として螺旋状に配列されている。可動子電極41a〜41iを接地するとともに、固定子電極に螺旋方向に沿って順次電圧を印加することにより、可動子電極は静電気力により固定子電極22a〜22h,23a〜23h,・・・に順次吸着され、これにより可動子30は固定子10の内部で回転しつつ軸方向に移動する。

請求項（抜粋）：

内部に略円柱形状の空間を形成する内周面と、内周面上に設けられた複数の固定子電極とを有する固定子と、前記固定子の内部に配置され、前記固定子の内周面との間に所定の間隙が形成される外周面を有し、前記外周面上の円周方向に延びる可動子電極を有する可動子と、を備え、前記複数の固定子電極は、軸方向に所定間隔をもって配列されるとともに円周方向に延び、これら複数の固定子電極に独立して電圧を印加することができるように構成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

静電リニアモ-タ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-267734 出願人：株式会社東芝

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