特許
J-GLOBAL ID:200903052869300824

角速度センサ及びその使用方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-168724
公開番号(公開出願番号):特開平8-152328
出願日: 1994年11月28日
公開日(公表日): 1996年06月11日
要約:
【要約】【課題】 ECUBox等の水平に配置される薄型の筐体への搭載が容易で、更に複数の測定軸にも容易に対応できる角速度センサ及びその使用方法を提供すること。【解決手段】 角速度センサは、圧電体からなる振動子1と、その上下表面(1面及び2面)に配置された電極3〜8とから構成されている。この角速度センサは、固定端10にて支持部材11に支持されて、例えば電子制御装置を収納する筐体の基板12等に平行に配置されている。電極3〜8として、1面側には、駆動電極3,4、振動モニターを兼ねる自励発振用のフィードバック電極5,6、検出電極7が設けられ、2面側には、GND電極8が設けられている。支持部材11は、略コの字形の部材であり、その上部の凹部に振動子1の固定端10が嵌合されている。
請求項(抜粋):
振動子と、該振動子の中心軸方向と直交する方向に、該振動子をたわみ振動させる駆動手段と、前記振動子の前記中心軸方向における伸縮振動を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
審査官引用 (4件)
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