特許
J-GLOBAL ID:200903052898441119
誘電体多層膜を有する光学素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
佐野 静夫
, 山田 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-107439
公開番号(公開出願番号):特開2005-292462
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】 良好な光学特性を保持しながら信頼性の高い誘電体多層膜を有する光学素子を提供する。 【解決手段】 光学素子は、合成樹脂基板S上に高屈折率層Hと低屈折率層Lとが交互に積層された構造の誘電体多層膜MCを有する。低屈折率層Lを構成する材料は、Al2O3とSiO2との混合物である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
合成樹脂基板上に高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された構造の誘電体多層膜を有する光学素子であって、前記低屈折率層を構成する材料がAl2O3とSiO2との混合物であることを特徴とする光学素子。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (8件):
2H048FA12
, 2H048FA22
, 2H048FA24
, 2K009AA03
, 2K009AA07
, 2K009BB11
, 2K009CC03
, 2K009EE00
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特公平7-119844号公報
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特公平7-119845号公報
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特公平6-85001号公報
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特許第3068252号公報
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審査官引用 (3件)
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特開平3-129301
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特開平2-096701
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薄膜の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-046315
出願人:セイコーエプソン株式会社
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