特許
J-GLOBAL ID：200903052912476109
腐食性ガス移送系での不動態化処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-368763
公開番号（公開出願番号）：特開2000-192222
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造過程でクリーニングガスとして使用されるフッ化水素等の腐食性ガス供給路での接ガス面での腐食の進行を抑制する方法を提供する。【解決手段】 腐食性ガスを流通させるガス移送経路での接ガス面にオゾンガスを作用させて酸化不動態膜を形成し、酸化不動態膜にフッ素系ガスを作用させてフッ化不動態膜を形成するようにした。
請求項（抜粋）：
腐食性ガスを流通させるガス移送経路での接ガス面にオゾンガスを作用させて酸化不動態膜を形成し、酸化不動態膜にフッ素系ガスを作用させてフッ化不動態膜を形成するようにした腐食性ガス移送系での不動態化処理方法。
引用特許：
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