特許
J-GLOBAL ID：200903052952313709
プラズマディスプレイパネルの保護層及び保護層形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344844
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176325
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 酸化マグネシウム膜の膜厚を10000 以上に形成しても膜内にクラックを生じさせず、一定の歩留りを維持すると共に、保護層としての機能を長期間維持させて長寿命化を図れるプラズマディスプレイパネルの保護層及び保護膜形成方法を提供する。【解決手段】 複数配設した蒸着部(12、14、16)にガラス基板1を通し、MgO膜を複数積層して保護層を形成することにより、MgO積層膜の各層当りの膜厚を薄くできることとなり、各層に生じる内部応力が膜強度に対し十分小さなものとなり、MgO膜内にクラックを生じにくくして歩留り低下を防げると共に、膜厚を増やしてPDPの長寿命化、信頼性向上が図れる。
請求項（抜粋）：
ガラス基板に形成した電極上に誘電体層を介して設けられたプラズマディスプレイパネルの保護層の形成方法において、前記誘電体層の表面に酸化マグネシウムを所定の膜厚且つ所定配向結晶となるように蒸着する工程を複数回行って酸化マグネシウム膜が複数積層した保護層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの保護層形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
