特許
J-GLOBAL ID：200903052959037804

無機酸を含む気体の処理方法、処理装置、処理システム、及び、洗浄処理装置

発明者：
柳 基典

柳 基典 について

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平野 誠

平野 誠 について

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広瀬 多都三

広瀬 多都三 について

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清水 恵己

清水 恵己 について


出願人/特許権者：
野村マイクロ・サイエンス株式会社

野村マイクロ・サイエンス株式会社 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107642
公開番号（公開出願番号）：特開2002-301332
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：
【要約】【課題】 無機酸を主とする洗浄液から発生する排ガスを洗浄塔で処理する方法において、設備にかかるイニシャルコスト及びランニングコストの低減を図ることのできる装置や方法を提供する。【解決手段】 洗浄機の排気側に微細水滴発生部6と、気液分離部7と、気流発生部(ファン)4と、無機酸除去ユニット11とを有する。無機酸除去ユニット11は、洗浄室1から発生した無機酸ガスを吸収した洗浄水中のF-,Cl-,PO43-,SO42-等の無機酸イオンを処理する。無機酸除去ユニット11で処理された処理水は、ポンプ10を経て再び噴霧部6に供給される。噴霧部6は処理水を微細水滴に分裂させ、気流発生部(ファン)4から吸引した無機酸ガスを含む排ガス5aに微細水滴を混合し、吸着させる。気液分離部7で微細水滴を捕捉して、清浄な空気5bとした後、洗浄室1の吹出口1a側或いは室内に送気される。
請求項（抜粋）：
無機酸を含む気体を流すダクトと、前記ダクト内の一部に処理水を噴霧して前記ダクト内を通る気体と処理水の霧状微粒子とを接触させる噴霧部と、前記噴霧部の下側に配設され、前記噴霧部から落下する処理水を収容する処理水収容槽と、前記処理水収容槽から前記噴霧部に処理水を送る配管と、前記配管に接続され、前記処理水収容槽内の処理水から無機酸イオンを除去する無機酸除去ユニットとを具備する、無機酸を含む気体の処理装置。
IPC (9件)：
B01D 53/46 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/68 ,  B01D 53/77 ZAB ,  B01J 41/04 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/469 ,  C02F 1/00
FI (11件)：
B01J 41/04 G ,  C02F 1/28 D ,  C02F 1/28 L ,  C02F 1/28 P ,  C02F 1/42 E ,  C02F 1/00 V ,  B01D 53/34 120 A ,  B01D 53/34 ZAB E ,  B01D 53/34 134 A ,  B01D 53/34 134 C ,  C02F 1/46 103
Fターム (46件)：
4D002AA02 ,  4D002AA19 ,  4D002AA23 ,  4D002AA27 ,  4D002AB01 ,  4D002AC10 ,  4D002BA02 ,  4D002BA08 ,  4D002CA01 ,  4D002CA11 ,  4D002DA35 ,  4D002DA41 ,  4D002EA02 ,  4D002EA13 ,  4D002FA01 ,  4D002GA03 ,  4D002GB03 ,  4D002HA01 ,  4D024AA04 ,  4D024AB11 ,  4D024AB12 ,  4D024AB14 ,  4D024BA02 ,  4D024BA17 ,  4D024BB01 ,  4D024BB05 ,  4D024BC01 ,  4D024CA01 ,  4D024DB19 ,  4D025AA09 ,  4D025AB06 ,  4D025AB07 ,  4D025AB14 ,  4D025AB15 ,  4D025BA13 ,  4D025BA14 ,  4D025CA03 ,  4D025DA03 ,  4D061DA08 ,  4D061DB19 ,  4D061DC13 ,  4D061DC17 ,  4D061EA09 ,  4D061EB13 ,  4D061FA08 ,  4D061FA11
引用特許：
審査官引用 (9件)
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