特許

J-GLOBAL ID：200903052968075310

グロー放電発光分光分析装置

発明者： 安原 久雄 ,  平本 文夫 ,  我妻 和明
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社 ,  理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 白木 大太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070142
公開番号（公開出願番号）：特開2005-257506
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】 装置や試料の大型化を伴わず、迅速かつ確実に大気の侵入を防止することができる高精度のグロー放電発光分光分析装置を提供する。【解決手段】 陽極管と、該陽極管と陰極の間に介在し試料が当接する支持ブロックを有し、該陽極管と陰極の間に直流電圧もしくは高周波電圧を印加して試料をスパッタリングする給電手段を備えるグロー放電発光分光分析装置において、前記支持ブロックの試料当接面に内側Oリングと該内側Oリングより径が大である外側Oリングとを設けかつ、前記内側Oリングと外側Oリング間に開口する不活性ガス供給手段を設けてなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

陽極管と、該陽極管と陰極の間に介在し試料が当接する支持ブロックを有し、該陽極管と陰極の間に直流電圧もしくは高周波電圧を印加して試料をスパッタリングする給電手段を備えるグロー放電発光分光分析装置において、 前記支持ブロックの試料当接面に内側Oリングと該内側Oリングより径が大である外側Oリングとを設けかつ、前記内側Oリングと外側Oリング間に開口する不活性ガス供給手段を設けたことを特徴とするグロー放電発光分光分析装置。

IPC (1件)：

G01N21/67

FI (1件)：

G01N21/67 C

Fターム (13件)：

2G043AA01 ,  2G043BA09 ,  2G043CA05 ,  2G043DA01 ,  2G043DA06 ,  2G043DA08 ,  2G043EA09 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043GB09 ,  2G043GB17 ,  2G043JA01 ,  2G043MA01

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開平1-206237号公報
  
• グロー放電分析器具の雰囲気のシール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-061595   出願人：レココーポレイション
• グロー放電発光分光分析用試料装着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-038594   出願人：新日本製鐵株式会社
• 特開平1-206237
  
• 半導体製造方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-182266   出願人：株式会社日立国際電気

審査官引用 (4件)

• 特開平1-206237
  
• 特開平1-206237
  
• 半導体製造方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-182266   出願人：株式会社日立国際電気
• グロー放電分析器具の雰囲気のシール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-061595   出願人：レココーポレイション