特許

J-GLOBAL ID：200903052986932491

有機ELディスプレイ及びその製造方法

発明者： 大下 勇 ,  渡辺 輝一
出願人/特許権者： 東北パイオニア株式会社
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-004640
公開番号（公開出願番号）：特開2002-208484
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：

【要約】【目的】 有機EL薄膜,陰極薄膜の堆積時に透明基板11に対するメタルマスク19の接触を防止し、発光特性に優れた有機ELディスプレイを得る。【構成】 透明基板11の上に層間絶縁膜12を介してITO膜13及びTFT層14を設けた後、層間絶縁膜12の上にマスク支持層18を設け、マスク支持層18で支持するように所定パターンのメタルマスク19を透明基板11に重合せる。そして、メタルマスク19の開口部を介してITO膜13上に有機EL薄膜16及び陰極薄膜17を堆積する。

請求項（抜粋）：

透明基板上に層間絶縁膜を介して設けられたITO膜と、隣り合うITO膜の間に設けられた絶縁膜と、ITO膜に堆積された有機EL薄膜及び陰極薄膜を備え、有機EL薄膜及び陰極薄膜を形成する際に使用したメタルマスクと透明基板の画素部との接触を防止する絶縁性のマスク支持層が前記絶縁膜の一部又は全部になっていることを特徴とする有機ELディスプレイ。

IPC (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  C23C 16/04 ,  G09F 9/00 338 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22

FI (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  C23C 16/04 ,  G09F 9/00 338 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 Z

Fターム (25件)：

3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K030BA61 ,  4K030DA05 ,  4K030LA18 ,  5G435AA01 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435HH14 ,  5G435HH18 ,  5G435KK05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 薄膜トランジスタ配列基板上のフルカラー有機エレクトロルミネセンス表示配列にパターン化された有機層
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-149055   出願人：イーストマンコダックカンパニー
• 有機電界発光素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-201659   出願人：東レ株式会社
• 有機ELフルカラーディスプレイパネルおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-258086   出願人：パイオニア株式会社
• 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-293107   出願人：パイオニア株式会社