特許
J-GLOBAL ID:200903053000976514

能動的オンオフ状態制御を備えた単極単投マイクロ電子機械的スイッチ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-221321
公開番号(公開出願番号):特開2000-057927
出願日: 1999年08月04日
公開日(公表日): 2000年02月25日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、オフ状態の復帰を能動的に行うことのでき、接点の粘着による事故を防止することのできるカンチレバービーム型スイッチを提供することを目的とする。【解決手段】 一端でベース12に固定されたカンチレバービーム16と、ベースに取付けられカンチレバービーム16と接続されている第1の電極14と、カンチレバービーム16と電気的に分離されてベース12に取付けられる第2の電極18と、カンチレバービーム16の自由端の下方のベースに取付けられたコンタクト電極20と、電気回路を閉路するための付勢電圧32を供給する手段と、電気回路を開路するための付勢電圧を供給する差動演算増幅器36とを備えていることを特徴とする。
請求項(抜粋):
反復的に電気回路を開閉する装置において、ベースと、前記ベースに一端で固定され、他端が自由端であるカンチレバービームと、前記ベースに取付けられ、前記カンチレバービームと接続されている第1の電極と、前記ベースに取付けられている第2の電極と、前記カンチレバービームの自由端の下方の前記ベースに取付けられているコンタクト電極と、前記電気回路を閉路するための付勢電圧を供給する手段と、前記電気回路を開路するための付勢電圧を供給する手段とを具備していることを特徴とする開閉装置。
IPC (2件):
H01H 59/00 ,  B81B 7/02
FI (2件):
H01H 59/00 ,  B81B 7/02
引用特許:
審査官引用 (3件)

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