特許
J-GLOBAL ID：200903053003846484
フィルムの欠陥検査装置、欠陥検査システムおよび欠陥検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059713
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324453
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：
【要約】【課題】被検査フィルムの光学的欠陥検査を簡易かつ容易に行い、さらに、製造工程中に生じるすべての光学的欠陥を漏れることなく精度よく検出するフィルム欠陥検査装置、フィルム欠陥検査システムおよびフィルム欠陥検査方法を提供する。【解決手段】被検査フィルムのフィルム面の両側に平行に配置する一対の偏光子と、一方の偏光子を介して被検査フィルムに投光する照明光源と、この照明光源によって投光されて他方の偏光子から透過される透過光を受光する受光手段と、複屈折特性が、被検査フィルムの光学的欠陥のない部分の複屈折特性と略同一なフィルムで、被検査フィルムの複屈折特性に応じて配置方向が予め設定される補正フィルムとを有し、透過光の輝度信号を前記受光手段により得ることによって被検査フィルムの光学的欠陥を検査する。
請求項（抜粋）：
光学的欠陥を検査する被検査フィルムのフィルム面の両側に被検査フィルムと平行に配置する一対の偏光子と、この一対の偏光子間の外側に配置し、この一対の偏光子の一方の偏光子を介して、被検査フィルムに投光する照明光源と、前記一対の偏光子間の外側の、前記照明光源の配置位置の反対側に配置し、前記照明光源によって投光されて他方の偏光子から透過される透過光を受光する受光手段と、複屈折特性が、被検査フィルムの光学的欠陥のない部分の複屈折特性と略同一なフィルムであって、被検査フィルムの複屈折特性に応じて配置方向が予め設定され、前記一対の偏光子と被検査フィルムとの間の一方の隙間に被検査フィルムと平行に配置される補正フィルムとを有し、前記被検査フィルム、前記補正フィルムおよび前記一対の偏光子を透過した透過光の輝度信号を、前記受光手段により得ることによって被検査フィルムの光学的欠陥を検査することを特徴とするフィルムの欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/892
, G01M 11/00
, G01N 21/89
G01N 21/892 A
, G01M 11/00 T
, G01N 21/89 H
2G051AA41
, 2G051AB02
, 2G051BA08
, 2G051BA11
, 2G051BA20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051DA08
, 2G051DA20
, 2G051EA08
, 2G051EA30
, 2G051FA10
, 2G086EE05
