特許

J-GLOBAL ID：200903053016441785

自動研磨装置、及び研磨方法

発明者： 福澤 博顕 ,  大川 勝久
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166370
公開番号（公開出願番号）：特開2000-354963
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 研磨の終了が正確になされ、研磨過度とか研磨不十分と言った問題を解決することである。【解決手段】 被研磨体及び研磨済基準体を保持する保持手段と、前記保持手段に被研磨体及び研磨済基準体を保持させた状態でこれを研磨する研磨手段と、前記保持手段に被研磨体及び研磨済基準体を保持させた状態での前記研磨手段による研磨に際しての所定の物理量を検出する検出手段と、前記検出手段による信号に基づいて前記研磨手段による研磨作業を終了させる制御手段とを具備する自動研磨装置。

請求項（抜粋）：

被研磨体及び研磨済基準体を保持する保持手段と、前記保持手段に被研磨体及び研磨済基準体を保持させた状態でこれを研磨する研磨手段と、前記保持手段に被研磨体及び研磨済基準体を保持させた状態での前記研磨手段による研磨に際しての所定の物理量を検出する検出手段と、前記検出手段による信号に基づいて前記研磨手段による研磨作業を終了させる制御手段とを具備することを特徴とする自動研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 49/10 ,  B23Q 17/09

FI (2件)：

B24B 49/10 ,  B23Q 17/09 A

Fターム (7件)：

3C029CC00 ,  3C029CC07 ,  3C034AA13 ,  3C034CA17 ,  3C034CA24 ,  3C034CB03 ,  3C034DD20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-010534   出願人：住友金属工業株式会社
• 回転押圧装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-199052   出願人：株式会社クボタ