特許
J-GLOBAL ID：200903053024284400
ウエハ搬送装置及びウエハアライメント方法
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139545
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335410
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 装置設置面積の縮小や、設計自由度の増大、及び簡単な構造で精度の良いウエハアライメント調整をして搬送可能なウエハ搬送装置及びウエハアライメント方法を提供する。【解決手段】 ウエハ1が位置決めされて配置される測定テーブル22を中心として一端側が回転される第3アーム19を有した多関節形のロボットアーム機構11と、測定テーブル22上に位置決めされるウエハ1と対向する位置で第3アーム19と一体的に回転してウエハ1の外形に対応する信号を出力するセンサ13とを備え、センサ13の出力に応じてロボットアーム機構11の駆動を制御し、ウエハ1のアライメントを行った後、搬送するようにした。
請求項（抜粋）：
周囲の一部を切り欠いてなる基準部を有しているウエハを所定の位置に搬送する装置において、前記ウエハが位置決めされて配置されるアライメント測定部と、前記アライメント測定部を中心として一端側が回転される基部アームと前記基部アームの他端側にリンク結合された前記ウエハを着脱自在に保持するウエハ保持アームとを有し、前記ウエハ保持アームを測定前の前記ウエハが配置されている位置と前記アライメント測定部と前記測定後のウエハが搬送される前記所定の位置とに移動可能な多関節型のロボットアーム機構と、前記アライメント測定部上に位置決めされる前記ウエハと対向する位置で前記基部アームと一体的に回転して前記ウエハの外形に対応するアライメント用の信号を出力するセンサとを備え、前記センサ出力に応じて前記ロボットアーム機構の駆動を制御し前記ウエハのアライメントを行って搬送する、ことを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (3件)：
FI (4件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved