特許

J-GLOBAL ID：200903053050053352

紫外線硬化型加熱剥離性粘着シート及び切断片の分別回収方法

発明者： 村田 秋桐 ,  松村 健
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (2件)： 後藤 幸久 ,  壬生 優子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-260524
公開番号（公開出願番号）：特開2007-070521
出願日： 2005年09月08日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】 半導体ウエハ等の切断片を2種以上に容易に分別回収できる被切断体の仮固定用として有用な紫外線硬化型加熱剥離性粘着シートを得る。【解決手段】 紫外線硬化型加熱剥離性粘着シートは、基材の一方の側に紫外線遮光パターン層と紫外線硬化型熱剥離性粘着層とがこの順に積層されているか、又は基材の一方の側に紫外線硬化型熱剥離性粘着層が形成され、他方の側に紫外線遮光パターン層が形成されていることを特徴とする。基材と紫外線硬化型熱剥離性粘着層との間にゴム状有機弾性層が設けられていてもよい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材の一方の側に紫外線遮光パターン層と紫外線硬化型熱剥離性粘着層とがこの順に積層されていることを特徴とする紫外線硬化型加熱剥離性粘着シート。

IPC (3件)：

C09J 7/02 ,  H01L 21/301 ,  C09J 201/00

FI (4件)：

C09J7/02 Z ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 Y ,  C09J201/00

Fターム (11件)：

4J004AA05 ,  4J004AB01 ,  4J004AB07 ,  4J004CB03 ,  4J004CE01 ,  4J004FA05 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040JB09 ,  4J040NA20 ,  4J040PA42

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 特公昭51-24534号公報
  
• 特開昭56-61468号公報
  
• 特開昭56-61469号公報
  
• 特開昭60-252681号公報
  
• エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-318644   出願人：日東電工株式会社
• エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-318645   出願人：日東電工株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-017981
  
• ダイシング・ダイボンドフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-164721   出願人：日東電工株式会社
• 加熱剥離型粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-316820   出願人：日東電工株式会社
• 特開昭63-030581