ウエハの位置決め搬送装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277484
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139162
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】ウエハガイド及びウエハチャックとキャリアとが相対的に位置ずれしていても、またウエハのオリフラ面がキャリアの正規の位置に位置していなくても、ウエハをウエハチャックに対して正しく位置決めすることができる。【構成】ウエハ押出し機構7の押出し部9は、キャリア4に収容されているウエハ3を第1の所定量だけ押出す。この後に、ウエハガイド5がX方向に移動して、その円弧面5aによってウエハ3の外周面を押して、ウエハ3を第2の所定量だけ押込む。この押込みによって、ウエハ3は必ずその外周面が円弧面5aの全面に接触し、ウエハチャック6に対して正しく位置決めされる。

請求項（抜粋）：

ほぼ円形状のウエハの外周面の離間した二か所に当接する一対の当接部を有するウエハ収容用のキャリアと、上記ウエハとほぼ同一半径の円弧面を有し、上記円弧面が上記キャリアに収容されたウエハの外周面に当接するように水平方向に移動されるウエハガイドと、上記ウエハガイドと一体的に構成され、上記ウエハガイドの円弧面との当接によって位置決めされたウエハを保持するウエハチャックとを具備するウエハの位置決め搬送装置において、上記キャリアの一対の当接部の間から上記ウエハに当接して上記ウエハを第1の所定量だけ上記当接面から離間する方向に押出すウエハ押出し機構を更に具備し、上記ウエハガイドは上記移動によって押出されたウエハの外周面に当接し、上記ウエハチャックが上記ウエハを第2の所定量だけ上記当接面に近付く方向に移動させることを特徴とするウエハの位置決め搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

引用特許：

審査官引用 (1件)

半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-309056 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社

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